常见的硅微粉制取方法——硅烷法

文章来源：https://www.hayond.cn 发布时间：2022-05-17 浏览次数：45

自20世纪50年代开始，金属氢化物公司进行了以硅烷为制备超纯硅微粉的中间材料的研究。硅烷系由四氯化硅与氢化铝锂或硅化镁作用制得，所制得硅烷在800℃-900℃热分解为硅微粉和氢气。硅烧法的优缺点:其原料SiH₄是一种高挥发性气体，净化气体较容易;发生硅烷过程的本身金属污染显著减少;分离、提纯较容易进行;热分解不需要还原剂，避免了大多数方法中所受到的还原剂纯度的限制，不存在还原沾污问题，装置易大型化;是一种均相反应，硅烷立即发生，反应容易开始、终止和调解，分解成硅微粉的反应温度较低，能量较少;分解效率高、不必回收，生产实收率高、成本低、产量潜力最大。但是，硅烷是一种有毒的爆炸性气体，LiAIH₄也具有一定危险性。安全保护是硅烷法一个重要问题，至今这些问题尚未彻底解决。